Лекция 1

С уменьшением размера наночастицы отношение числа поверхностных атомов к общему числу атомов.

• Растет

• Уменьшается

• Не изменяется

Что из перечисленного не является физическим методом создания наноструктур?

• Фотолитография

• Коллоидный синтез

• Микроконтактная печать

• Ковалентно-связанная сборка

В результате облучения плотность отрицательного фоторезиста …

• Увеличивается

• Уменьшается

• Не меняется

Разрешение при бесконтактной теневой фотолитографии … в сравнении с контактной.

• Выше

• Ниже

• Такое же

Разрешение при проекционной фотолитографии … в сравнении с теневой.

• Выше

• Ниже

• Такое же

Недостатком контактной фотолитографии является …

• Низкое разрешение

• Дорогостоящее производство

• Опасность загрязнения и повреждения маски

Преимущество бесконтактной фотолитографии.

• Высокое разрешение

• Отсутствие загрязнение маски

• Высокая производительность

Увеличение длины волны падающего излучения при фотолитографии …

• Ведет к улучшению разрешения

• Ведет к ухудшению разрешения

• Не оказывает влияния на разрешение

Особенностью электронно-лучевой литографии в сравнении с фотолитографией является отсутствие…

• Маски

• Подложки

• Резиста

Что не является причиной ухудшения разрешения в электронно-лучевой литографии?

• Упругое и неупругое рассеяние электронов в резисте и подложке

• Неупругое рассеяние, порождающее вторичные электроны

• Боковая диффузия вторичных электронов

• Дифракция электронов