Modern Fizika Gépészmérnököknek 2022/11

Minek a hosszskálája 4 nm a legmodernebb technológiával készült tranzisztorban?

• a szilíciumszelet vastagsága

• az oxidréteg vastagsága

• a forrás és nyelő elektródák magassága

• a forrás és nyelő elektródák egymástól való távolsága

Mi a félvezetőtechnológiában használt fotolitográfia célja?

• a minta felületének megtisztítása

• a minta alkalmassá tétele optoelektronikai alkalmazásokra

• a minta felületének megmunkálása

• képalkotás a minta felületéről

Melyik marási módszer eredményez (tipikusan) izotrop marást?

• nedves marás folyékony marószerrel

• ionsugaras marás (FIB)

• Bosch-folyamat

• kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD)

Miért kapunk anizotropi marási folyamatot, ha lúgos marószerrel marunk szilíciumot?

• Mert a lúgos marószer maga anizotrop.

• Mert a szilícium 111 síkjai marásmegállító síkként működnek.

• Mert a szilíciumot bóratomokkal adalékoljuk.

• Mert az alkalmazott elektromos tér gyorsítja a marószer molekuláit.

Mi a célja a kémiai gőzfázisú leválasztásnak (CVD)?

• egy felületről eltávolítani egyetlen atomi réteget

• egy felületre ránöveszteni egyetlen atomi réteget

• egy kristály két, kb. egyenlő térfogatú részre való szétválasztása

• összetapadt fém és félvezető szétválasztása

Mit hívunk prekurzornak a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) folyamatában?

• a szilíciumlapot, amin a reakció létrejön

• a gáztérbe injektált gázokat, amik a reakcióban részt vesznek

• a reakciótermékeket

• a kivitelezést megelőző szimuláció eredményeit

A képen látható ferde szilícium-felületek milyen eljárással készültek?

• lúgos nedves marás

• Bosch-folyamat

• izotrop marás

• fotolitográfia

Ha egy ionsugaras marás során egy egyszeresen töltött iont 1 méter távolságon 100 V/m elektromos tér gyorsít, akkor mekkora a gyorsulása?

Ha egy ionsugaras marás során egy egyszeresen töltött iont 1 méter távolságon 100 V/m elektromos tér gyorsít nyugalomból indulva, akkor az ion mennyi idő alatt teszi meg az egyméteres utat?

• 3,3 nanoszekundum

• 33 nanoszekundum

• 330 nanoszekundum

• 3,3 mikroszekundum

Ha egy ionsugaras marás során egy egyszeresen töltött iont 1 méter távolságon 100 V/m elektromos tér gyorsít nyugalomból indulva, akkor mekkora a becsapódási sebessége?

• kb. 60 millió m/s

• kb. 6 millió m/s

• kb. 600 000 m/s

• kb. 60 000 m/s