ליתוגרפיית קרן אלקטרונים

לשם מה משתמשים בליתוגרפיית קרן אלקטרונים?

• יצירת גלאים פלורוסנטי

• מחקר ננוטכנולוגי

• חיתוך ננומטרי של מתכות

• יצירת מבנים בקנה מידה ננומטרי

פיתוח של איזו טכנולוגיה הוביל לגילוי שיטת הליתוגרפייה האלקטרונית?

• ננופבריקציה

• מיקרוסקופ האלקטרונים סורק

• הספקטרופוטומטר

• פוטוליתוגרפיה

מהו רזיסט?

• משטח נחושת המעביר את זרם אלקטרונים

• מולקולות גלאי פלורוסנטי המובילות את קרן האלקטרונים

• פולימר המצפה את משטח התבנית ומאפשר את פעולת קרן האלקטרונים

• משטח מתכתי עליו מונחת התבנית שקרן האלקטרונים חותכת

מה יש לעשות כדי לקבל קרן אלקטרונים קטנה ומדויקת יותר?

• לעבוד בסביבה עם טמפרטורה גבוהה

• להוריד את כמות האלקטרונים

• להעלות את כמות האלקטרונים

• לשנות את מבנה הרסיסט

מה הם השימושים הנפוצים היום של שיטת הליתוגרפייה האלקטרונית?

• ייצור שבבי מחשב מזעריים

• ייצור שבבי מחשב וגלאי סרטן פלואורוסנטים

• השיטה יקרה מדי, לכן במחקר

• שימושים במחקר, ייצור מוליכים למחצה וננו-תרופות

מה מקור האלקטרונים בקרן האלקטרונים?

• שדה חשמלי וזרם אלקטרונים בין קטודות

• אלקטרונים ממולקולות מעוררות

• הידרוליזה אלטקרונית

• אלקטרונים חופשיים ממשטח מתכתי

מה טווח המבנים שאפשר ליצור בליתוגרפיית קרן אלקטרונים?

• 100-40 ננומטר

• 50-2.5 מיקרומטר

• 100-4 ננומטר

• 200-100 ננומטר

לאחר העברת התבנית במכונת הליתוגרפייה, מה על החוקר לעשות?

• השהיית התוצר בטמפרטורה גבוהה

• לפתח את התוצר בעזרת קרינת uv

• אין מה לעשות, התוצר מוכן

• לנדף את עודפי התבנית ולהמיס את הרזיסט

מה היתרון של ליתוגרפיית קרן אלקטרונים לעומת הפוטוליתוגרפיה?

• ליתוגרפייה אלקטרונית מהירה הרבה יותר

• ליתוגרפייה אלקטרונית זולה באופן משמעותי

• ליתוגרפייה אלקטרונית מאפשר ליצור מבנים קטנים ומדויקים יותר

• מטרת השיטות דומה, אין הבדל משמעותי בין היתרונות

כיצד קרן האלקטרונים משפיעה על הרסיסט?

• משנה את מסיסותו

• גורמת ליצירת קשרים קוולנטיים חדשים

• גורמת לעירור אלקטרוני במולקולות הפולימר

• מנדפת אותו לאוויר (אידוי)