4 Вакуумное напыление

Какова первая стадия процесса вакуумного осаждения?

• Откачка рабочего камеры

• Осаждение пленки

• Загрузка подложек

• Охлаждение подложек

Какое из следующих требований НЕ является обязательным для установок вакуумного осаждения?

• Простота разборки

• Высокая скорость откачки

• Низкая скорость производства

• Однородность толщины пленки

Какой тип вакуумной камеры НЕ упоминается в презентации?

• Сферическая

• Цилиндрическая (вертикальная)

• Цилиндрическая (горизонтальная)

• Прямоугольная (линейная)

Каково основное преимущество использования кварцевого толщиномера?

• Низкая стоимость

• Высокая точность

• Нанометровый размер

• Ручное управление

Какой тип насоса идеален для достижения ультравысокого вакуума?

• Криогенный насос

• Молекулярный насос

• Турбомолекулярный насос

• Ротационный насос

Какова характеристика закрытых вакуумных систем с затворами?

• Нет изоляции между камерами

• Открытая связь между камерами

• Уплотнения с частичной изоляцией

• Нет уплотнений и полная изоляция

Какой из следующих источников ионов НЕ является упомянутым типом?

• Плазменный источник

• Источник Кауфмана

• Источник с эффектом Холла

Каков главный недостаток резистивного испарения?

• Долгое время обработки

• Высокая стоимость

• Низкая управляемость

• Требует высокого вакуума

Какой из следующих методов используется для измерения температуры подложки?

• Инфракрасные датчики

• Термальные камеры

• Оптические датчики

• Контактные термометры

Какой из следующих факторов влияет на скорость откачки вакуумной системы?

• Тип используемого насоса

• Размер камеры

• Все вышеперечисленное

• Температура окружающей среды