MEMS

Kakvu kombinaciju mikro elemenata uključuju MEMS uređaji?

Koje funkcije obavlja MEMS?

• aktivacija

• detekcija

• izrada

• izbor

Osim automobilske industrije navedi još 3 grane primjene MEMS-a

Za čeg se koriste senzori temperature MEMS-a

Što omogućuju MEMS senzori

• pouzdanost, ali kraći radni vijek

• sporo javljanje podataka

• precizna mjerenja,

• manju veličinu i potrošnju energije

Nastaje kao rezultat kvantnih fluktuacija elektromagnetskih polja u vakuumu između dva vrlo blizu postavljena objekta

Na slici je prikazano...?

• Sila trenja

• Casimirova sila

• Vakuum

• Slobodno gibanje čestica

Proces kojim se uklanja materijal s podloge u točno određenim područjima, koristeći kemijske ili fizičke metode.

Ključni postupak u izradi MEMS-a koji se koristi za oblikovanje slojeva materijala na površini silicija ili drugih podloga

Mikroelektromehanički sustavi (MEMS) koriste se u raznim industrijama zbog svoje sposobnosti _____________, visoke ________________ i integracije mehaničkih i elektroničkih funkcija na mikroskopskoj razini.

• miniaturizacije

• stabilnosti

• preciznosti

• oblikovanja