WorksheetsQuizizz Chapter 29
Total questions: 15
Worksheet time: 15mins
Apa yang dimaksud dengan perangkat mikroelektromekanis?
Produk yang menggabungkan elemen mekanik dan listrik atau elektronik pada skala panjang yang sangat kecil
Produk yang menggabungkan elemen mekanik dan listrik atau elektronik pada skala panjang yang sangat besar
Produk yang menggabungkan elemen mekanik dan listrik atau elektronik pada skala pendek yang sangat kecil
Produk yang menggabungkan elemen mekanik dan listrik atau elektronik pada skala pendek yang sangat besar
Berapa dimensi umum manufaktur skala nano?
10-6 dan 10-8 m
10-6 dan 10-9 m
10-2 dan 10-9 m
10-3 dan 10-5 m
Diantara jawaban berikut ini, manakah yang merupakan proses dan konsep perangkat dan sistem mikroelektromekanis?
Litografi
Metalisasi
Etching
Semua benar
Industri apa saja yang telah mengaplikasikan konsep MEMS?
Komputer
Medis
Otomotif
Semua benar
Apa yang dimaksud dengan sistem mikroelektromekanis?
Perangkat berbasis semikonduktor yang sering memiliki karakteristik umum yang terkait dengan miniaturisasi ekstrem dan menggunakan prinsip kelistrikan dalam desainnya.
Produk yang murni mekanis dan memiliki dimensi antara skala panjang atom dan beberapa milimeter
Perangkat mikroelektromekanis yang juga menggabungkan sistem kelistrikan terintegrasi dalam satu produk.
Produk yang menggabungkan elemen mekanik dan listrik atau elektronik pada skala panjang yang sangat kecil
Apa yang dimaksud dengan micromachining?
Produksi fitur dari ukuran mikrometer ke meter
Produksi fitur dari ukuran mikrometer ke milimeter
Produksi fitur dari ukuran mikrometer ke centimeter
Produksi fitur dari ukuran mikrometer ke kilometer
Logam yang berpotensi dapat dijadikan sebagai bahan MEMS adalah
Aluminium
Nikel
Tungsten
Semua benar
Proses yang menggunakan etching yang bergantung pada orientasi pada silikon kristal tunggal adalah?
Bulk Micromachining
Surface Micromachining
SCREAM.
SIMPLE.
Langkah etching isotropik dilakukan dengan menggunakan...
Sulfur Heksafluorida
Kalium Heksafluorida
Sulfur Hidroksida
Kalium Hidroksida
Dalam teknik SCREAM., proses litografi dan etching standar menghasilkan lubang sedalam...
10 hingga 50 μm
100 hingga 500 μm
50 hingga 100 μm
500 hingga 1000 μm
LIGA adalah akronim Bahasa Jerman untuk?
Litografi sinar-X, elektrodeposisi, dan pencetakan
Litografi dan molding
Molding
Elektrodeposisi
Proses LIGA melibatkan langkah-langkah berikut, kecuali...
Lapisan polimetilmetakrilat (PMMA) yang sangat tebal (hingga ratusan mikron) diendapkan ke substrat primer.
PMMA terkena sinar-X kolom dan dikembangkan.
Logam diendapkan ke substrat sekunder.
PMMA dilepas, menghasilkan struktur logam tunggal.
Substrat yang digunakan dalam LIGA adalah...
Konduktor
Isolator berlapis konduktor
Semua benar
Proses LIGA yang terbaru adalah
PMMA-LIGA
UV-LIGA dan Silicon-LIGA
Silicon-LIGA
UV-LIGA
Proses yang menggabungkan struktur berbentuk honey comb heksagonal, micromachining silikon, dan deposisi lapisan film tipis untuk menghasilkan rasio aspek tinggi adalah...
HEXSIL.
Multilayer X-ray Lithography.
SIMPLE.
SCREAM.
