ננופבריקציה

מיקרוסקופ האלקטרונים סורק

הספקטרופוטומטר

פוטוליתוגרפיה

משטח נחושת המעביר את זרם אלקטרונים

מולקולות גלאי פלורוסנטי המובילות את קרן האלקטרונים

פולימר המצפה את משטח התבנית ומאפשר את פעולת קרן האלקטרונים

משטח מתכתי עליו מונחת התבנית שקרן האלקטרונים חותכת

לעבוד בסביבה עם טמפרטורה גבוהה

להוריד את כמות האלקטרונים

להעלות את כמות האלקטרונים

לשנות את מבנה הרסיסט

ייצור שבבי מחשב מזעריים

ייצור שבבי מחשב וגלאי סרטן פלואורוסנטים

השיטה יקרה מדי, לכן במחקר

שימושים במחקר, ייצור מוליכים למחצה וננו-תרופות

שדה חשמלי וזרם אלקטרונים בין קטודות

אלקטרונים ממולקולות מעוררות

הידרוליזה אלטקרונית

אלקטרונים חופשיים ממשטח מתכתי

100-40 ננומטר

50-2.5 מיקרומטר

100-4 ננומטר

200-100 ננומטר

השהיית התוצר בטמפרטורה גבוהה

לפתח את התוצר בעזרת קרינת uv

אין מה לעשות, התוצר מוכן

לנדף את עודפי התבנית ולהמיס את הרזיסט

ליתוגרפייה אלקטרונית מהירה הרבה יותר

ליתוגרפייה אלקטרונית זולה באופן משמעותי

ליתוגרפייה אלקטרונית מאפשר ליצור מבנים קטנים ומדויקים יותר

מטרת השיטות דומה, אין הבדל משמעותי בין היתרונות

משנה את מסיסותו

גורמת ליצירת קשרים קוולנטיים חדשים

גורמת לעירור אלקטרוני במולקולות הפולימר

מנדפת אותו לאוויר (אידוי)