WorksheetsMikroskopie und Mikroanalytik WiSe 2025/26: Kapitel 5 FIB-REM
Total questions: 5
Worksheet time: 4mins
Was sind Anwendungen eines FIB-REMs?
Probenherstellung von TEM-Lamellen
Cross-Section Untersuchungen
Serienproduktion von Elektronikbauteilen
Probenherstellung von Atomsondenspitzen
Gallium-Emitter haben im Vergleich zu Xenon-Emitter folgende Vorteile:
Kostengünstiger
Weniger Probleme mit der Implementierung von Atomen
Weniger Strahlschädigung
Höhere erzielbare Abtragsraten
Bei gleichen Strom kleinere Strahldurchmesser erreichbar
Richtig oder falsch: Im Gegensatz zum REM kommt die FIB-Säule ohne Objektivlinse aus!
Richtig
Falsch
Bei Beispiel 3 ist die Objektivspannung...?
Korrekt eingestellt
Falsch eingestellt
Am höchsten
Am niedrigsten
Beispiele für Strahlschädigung sind:
Leerstellenimplantation
Amorphisierung
Temperaturbedingte Schäden
Ionenimplantation
Phasentransformation
