Free Printable Mikroskopie und Mikroanalytik WiSe 2025/26: Kapitel 5 FIB-REM

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Was sind Anwendungen eines FIB-REMs?

Probenherstellung von TEM-Lamellen

Cross-Section Untersuchungen

Serienproduktion von Elektronikbauteilen

Probenherstellung von Atomsondenspitzen

Gallium-Emitter haben im Vergleich zu Xenon-Emitter folgende Vorteile:

Kostengünstiger

Weniger Probleme mit der Implementierung von Atomen

Weniger Strahlschädigung

Höhere erzielbare Abtragsraten

Bei gleichen Strom kleinere Strahldurchmesser erreichbar

Richtig oder falsch: Im Gegensatz zum REM kommt die FIB-Säule ohne Objektivlinse aus!

Richtig

Falsch

Bei Beispiel 3 ist die Objektivspannung...?

Korrekt eingestellt

Falsch eingestellt

Am höchsten

Am niedrigsten

Beispiele für Strahlschädigung sind:

Leerstellenimplantation

Amorphisierung

Temperaturbedingte Schäden

Ionenimplantation

Phasentransformation

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