Worksheets4 Вакуумное напыление
Total questions: 10
Worksheet time: 10mins
Какова первая стадия процесса вакуумного осаждения?
Откачка рабочего камеры
Осаждение пленки
Загрузка подложек
Охлаждение подложек
Какое из следующих требований НЕ является обязательным для установок вакуумного осаждения?
Простота разборки
Высокая скорость откачки
Низкая скорость производства
Однородность толщины пленки
Какой тип вакуумной камеры НЕ упоминается в презентации?
Сферическая
Цилиндрическая (вертикальная)
Цилиндрическая (горизонтальная)
Прямоугольная (линейная)
Каково основное преимущество использования кварцевого толщиномера?
Низкая стоимость
Высокая точность
Нанометровый размер
Ручное управление
Какой тип насоса идеален для достижения ультравысокого вакуума?
Криогенный насос
Молекулярный насос
Турбомолекулярный насос
Ротационный насос
Какова характеристика закрытых вакуумных систем с затворами?
Нет изоляции между камерами
Открытая связь между камерами
Уплотнения с частичной изоляцией
Нет уплотнений и полная изоляция
Какой из следующих источников ионов НЕ является упомянутым типом?
Плазменный источник
Источник Кауфмана
Источник с эффектом Холла
Каков главный недостаток резистивного испарения?
Долгое время обработки
Высокая стоимость
Низкая управляемость
Требует высокого вакуума
Какой из следующих методов используется для измерения температуры подложки?
Инфракрасные датчики
Термальные камеры
Оптические датчики
Контактные термометры
Какой из следующих факторов влияет на скорость откачки вакуумной системы?
Тип используемого насоса
Размер камеры
Все вышеперечисленное
Температура окружающей среды
