3 Литография

Что такое литография в микроэлектронике?

• Процесс создания топологических рисунков

• Способ обработки кремния

• Метод нанесения толстых слоев

• Технология производства микросхем

Какой минимальный размер элементов соответствует субмикронной литографии?

• 1,0 мкм

• 0,5 мкм

• 0,1 мкм

• 10 мкм

Какой основной параметр влияет на толщину слоя при спин-коатинге?

• Температура подложки

• Скорость вращения

• Время раскрутки

• Тип фоторезиста

Какой из следующих параметров определяет светочувствительность фоторезиста?

• Время экспонирования

• Энергия экспонирования

• Вязкость материала

• Толщина слоя

В каком типе фотолитографических систем используется объектив?

• Лазерный режим

• Проекционный режим

• Проксимальный режим

• Контактный режим

Какой дефект изображения связан с изменением фокальной позиции лучей?

• Кома

• Сферическая аберрация

• Дисторсия

• Астигматизм

Что такое стоячая волна?

• Волна, распространяющаяся в одном направлении

• Волна, возникающая в результате наложения двух волн

• Волна, которая всегда имеет одинаковую длину

• Волна, которая не имеет амплитуды

Какой метод позволяет значительно увеличить числовую апертуру проекционных систем?

• Использование антиотражающих покрытий

• Использование фазосдвигающих масок

• Иммерсионная литография

• Многократное экспонирование

Что такое картина Эйри?

• Световая волна, проходящая через линзу

• Чередование светлых и темных колец

• Изображение, полученное без дифракции

• Изображение, полученное с помощью стоячих волн

Какой эффект возникает при использовании внеосевого освещения?

• Снижение контраста

• Увеличение длины волны

• Уменьшение разрешения

• Увеличение глубины фокусировки