Free Printable TEL SDRM/SDRM2/F1000 introduction and comparison

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TEL SDRM/SDRM2/F1000 introduction and comparison

Total questions: 10

Worksheet time: 5mins

Name

Class

Date

1. F1000PL LF generator frequency 是多少?

13 Mhz

2.60 Mhz

13/40 Mhz

2. SDRM2 ESC temperature control 是幾個Zone?

2 個

4 + 1 個

27 + 1個

3. F1000PL ESC temperature 分幾個Area?

4個+F/R

6個+F/R

5個+F/R

4. SDRM A-RDC 分幾個Zone?

3個

2個

4個

5. F1000PL magnet controller 是哪一種?

PUC

Moving gap

6. F1000PL 哪一個unit 可以faster gas response?

FRC

Injection unit

7. SDRM2 add gas 進chamber 在哪個位置?

Center

Middle

Edge

8. F1000PL add gas 可以進chamber 在哪個位置?

Center

Middle

Edge

Center or middle or edge

9. F1000PL ESC temperature middle position 有幾個Zone?

4個

8個

6個

10.

10. SDRM2 RF power control 沒有哪一種設定?

LF pulse

APTC

Reset

TEL SDRM/SDRM2/F1000 introduction and comparison

Total questions: 10

Worksheet time: 5mins

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