技術論文導讀及實例

TTS 台灣技術論壇的全名是什麼?

• Taipei Technical Seminar

• Taiwan Technical Seminar

• Text To Speech

• Tainan Technical Seminar

論文寫作時以下哪一個是不需要提到的?

• 論文出處

• 撰寫者經歷

• 內容概述

• DE takeaway

論文選定後你應該要作什麼? 下列何者為非

• 趕快跟創辦人報名。

• 跟創辦人選定報告時間

• 思考一下DE tool是否可以運用。

• 私下跟同事分享

Ceramic (Al2O3) 被電漿濺鍍後不會產生下列何種材質?

• AlF2

• AlO2F2

• Y2O3

• AlF

本論文描述Ceramic 材質表面氟化是哪種物理現象?

• 濺鍍反應使材料氟化

  (物理氣相沉積技術)

• 原子層沈積(Atomic Layer Deposition, ALD) 的薄膜製程技術

• 離子植入

• 化學氣相鍍膜法

左圖為本文提到的TCP window ，中間顏色並沒有黑色的沉積物，可能是什麼原因?

• ICP電漿的coil 下方中心離子密度可能比周圍的離子密度還要高，高能量的電漿離子會撞擊材料而氣化使polymer 不容易附著。

• 中間區域使用不同材質

• 中間是個大洞沒有材料

本論文運用什麼方法改善center defect 問題?

• 加強pumping speed 把大量particle 速速抽走

• 在ceramic window 鍍上YoF 強身又健體

• 在ceramic window 的中心處鍍上Y2O3 coating 避免ceramic濺鍍現象。

• 刷TCP coil

針對center defect 是來自於ceramic window 被氟化的描述，下列何者為非。

• center defect 會隨著RF 時數上升而越來越差

• 良率會隨著RF 時數上升而越來越差

• TCP coil 嚴重氧化

• Ceramic window 中間的區域粗糙度 比其他的方還要差

Y2O3跟ceramic 材質氟化後YF3(2230℃)的沸點比AlF3 (1275℃) 還要高。因此Y2O3氟化後較不容易使particle掉落。

• 對

• 錯

下列何者不是導致ceramic window 被氟化的因素?

• 電漿能量過高

• 高活性F離子與材料產生反應

• chamber wall 加熱加速反應